DKMX10光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。DKMX10的白光干涉儀可以埃 級分辨率對表面進行高分辨率測量。該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統 的相干掃描干涉技術（CSI）。DKMX10進一步擴展了這些技術，它采用SMARTAcquire為新 手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。 DKMX10測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野 范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增 加。DKMX10的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。