邊緣檢測(cè)是圖像處理和計(jì)算機(jī)視覺中的一項(xiàng)基本任務(wù),在識(shí)別圖像中物體的邊界方面起著至關(guān)重要的作用。這項(xiàng)技術(shù)在物體識(shí)別、物體跟蹤和圖像分割等各種應(yīng)用中都非常重要。半導(dǎo)體行業(yè)是明顯受益于邊緣檢測(cè)的行業(yè)之一。近年來,該行業(yè)呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng),在很大程度上依賴邊緣檢測(cè)來保證設(shè)備的可靠性和性能。 在晶圓制造過程中,硅晶圓需要經(jīng)過晶體生長(zhǎng)、切片、拋光和清潔等多個(gè)復(fù)雜工序。在這些階段中,硅片邊緣可能會(huì)出現(xiàn)劃痕、裂紋或污染等不必要的缺陷。這些缺陷可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備故障或產(chǎn)量下降。為了降低這些風(fēng)險(xiǎn),制造商采用了先進(jìn)的檢測(cè)系統(tǒng),可以準(zhǔn)確檢測(cè)出晶圓邊緣的缺陷并對(duì)其進(jìn)行分類。使用邊緣檢測(cè)的原則也適用于半導(dǎo)體制造的其他階段,包括光刻、蝕刻、封裝和裝配。因此,邊緣檢測(cè)對(duì)于保持半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量和高效率標(biāo)準(zhǔn)是不可或缺的。 英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器就是低成本邊緣檢測(cè)的首選。它基于先進(jìn)的“陰影”原理,由控制器和測(cè)量探頭兩個(gè)部分組成,其中測(cè)量探頭包含發(fā)射器和接收器兩個(gè)模塊。一個(gè)控制器可配2組測(cè)量探頭,輕松進(jìn)行兩個(gè)位置的邊緣測(cè)量。 英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器專為非接觸測(cè)量和監(jiān)控各種物體(如膠帶、板、基板等)的邊緣位置而研發(fā),擁有±20um高精度、1um重復(fù)性、7mm測(cè)量范圍的高性能。而且,ZM106系列邊緣傳感器的測(cè)量探頭小巧輕便,發(fā)射器和接收器之間距離可高達(dá)30mm,安裝非常簡(jiǎn)單。不單如此,控制器還支持直接數(shù)顯,無需額外數(shù)顯設(shè)備。 簡(jiǎn)而言之,英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器提供了一個(gè)簡(jiǎn)單易用、低門檻、低成本的邊緣檢測(cè)方案。 |
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