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CPS3D表面微觀型面測量系統(tǒng)

我們具有多年光學(xué)傳感器和測量技術(shù)的經(jīng)驗,并開發(fā)出新一代光學(xué)傳感器,克服了傳統(tǒng)產(chǎn)品的缺點。其核心的光電器件使傳感器可以滿足嚴(yán)格的質(zhì)量要求。其卓越的測量能力也使它成為研究部門的首選。
NLS13 自動聚焦傳感器具有無與倫比的測量速度、精確度和分辨率。由于自動聚焦原理的限制,此傳感器只適合于連續(xù)表面的測量,對于不連續(xù)或表面復(fù)雜的情況,建議選用共焦傳感器。
從2000年開始,我們開發(fā)了共焦傳感器作為NLS13的補(bǔ)充。傳感器動態(tài)的測量范圍使它可以應(yīng)付各種反射率的表面和很尖的邊緣,而無需做任何適配或設(shè)置。

返回列表
  • 量程0.3~1mm;

  • 分辨率10~25nm;

  • 卓越的測量性能,且易于操作;

  • 綜合的觸發(fā)模塊;

  • 大的測量間隙,高數(shù)值孔徑,特別適用于復(fù)雜的地形;

  • 能測量各種反射率的表面和尖端邊緣,并無需做任何適配或設(shè)置;

    產(chǎn)品應(yīng)用于電子行業(yè),光學(xué)器件,電信行業(yè),塑料和造紙行業(yè),IC封裝,機(jī)械工程,陶瓷行業(yè)、汽車等應(yīng)用領(lǐng)域。

   


型號

NLS11

NLS12

NLS13

NLS14

測量范圍mm

1

1

1.5

0.3

分辨率nm

20

20

10

25

測量間隙mm

4

13.5

2

4

光斑直徑μm

<2< span="">

2

1.9

5

激光等級

2

1

1

 

光源

半導(dǎo)體傳感器

半導(dǎo)體傳感器

半導(dǎo)體傳感器

鹵素?zé)?/span>

工作原理

共焦傳感器

共焦傳感器

自動聚焦傳感器

白光傳感器


我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。


    NLS13發(fā)射的光源通過物鏡投射到被測物樣品表面,其反射回來的光會通過內(nèi)置的裝置形成光斑顯示在傳感器里面,從而被探測器檢測。物鏡的運動通過增量型編碼器控制,傳感器自動算出當(dāng)前位移值。

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