NG-A是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統(tǒng)。NG-A是一個XY網(wǎng)格編碼器系統(tǒng),湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會遇到的,該系統(tǒng)也可以避免與相單獨線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG-A在制造柵格的過程中,能夠保證其達(dá)到激光干涉儀的精度,并且以一個更經(jīng)濟(jì)的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。
XY編碼器或者叫柵格,在X和Y方向上以10um的作為基礎(chǔ)周期,整個計量系統(tǒng)則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。
亞納米的分辨率;
重復(fù)性小于5nm;
低阿貝誤差;
對湍流效應(yīng)及大氣壓強(qiáng)變化不敏感;
占地面積小,重量輕;
可選真空版本;
易于安裝,包括柵格安裝的應(yīng)力消除;
柵格和探頭的間隙為12mm;
對準(zhǔn)誤差低;
完善的技術(shù)支持;可定制;
高精度低成本位置控制;
實時校準(zhǔn);
精密金剛石車削實驗室;
鏡頭自動對焦;
NG-A | |
系統(tǒng)性能 | |
重復(fù)性 | ±5nm |
精度(175mm×175mm)* | ±200nm |
精度(380mm×380mm)* | ±1.0μm |
*(溫度變化±0.25℃) | |
最大速度 | 700mm/s |
編碼器到探頭間距 | 12.0±0.1mm |
測量區(qū)域 | 40×45mm, 150×150mm |
工作溫度 | +10°C~+40°C |
存儲溫度 | –20°C~+50°C |
NG探頭 | |
尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm |
外殼材料 | 6061-T6鋁 |
光源(785nm) | Class IIIb,3mw,激光二極管 |
重量(不包括線纜) | 110g |
接口線纜 | 3m,15針接頭 |
雙軸高分辨率處理器 | |
分辨率 | LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm |
更新頻率/軸 | 375KHz(并行輸出) |
范圍(785nm) | ~1300mm(全部32位) |
數(shù)據(jù)傳輸時間 | <8μs;靜態(tài)<25ns< span=""> |
接口 | 25針測試連接頭 |
輸出格式 | 32位并行字 |
A-quad-B(可選) | 邊緣頻率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz |
機(jī)械性 | ISA兼容16位PC板 |
電源(不包括A-quad-B) | +5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A; |
NG編碼器 | |
間距(機(jī)械/光學(xué)) | 10 μm / 5μm |
鈉鈣膨脹系數(shù) | 7.0 × 10-6/°C |
石英(熔石英)膨脹系數(shù) | 0.7 × 10-6/°C |
如果想采用其他材料,請咨詢工廠 |
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