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NG-A高分辨率納米編碼器

NG-A是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統(tǒng)。NG-A是一個XY網(wǎng)格編碼器系統(tǒng),湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會遇到的,該系統(tǒng)也可以避免與相單獨線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG-A在制造柵格的過程中,能夠保證其達(dá)到激光干涉儀的精度,并且以一個更經(jīng)濟(jì)的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。
XY編碼器或者叫柵格,在X和Y方向上以10um的作為基礎(chǔ)周期,整個計量系統(tǒng)則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。

返回列表
  • 亞納米的分辨率; 

  • 重復(fù)性小于5nm; 

  • 低阿貝誤差; 

  • 對湍流效應(yīng)及大氣壓強(qiáng)變化不敏感; 

  • 占地面積小,重量輕; 

  • 可選真空版本; 

  • 易于安裝,包括柵格安裝的應(yīng)力消除; 

  • 柵格和探頭的間隙為12mm; 

  • 對準(zhǔn)誤差低;

  • 完善的技術(shù)支持;可定制;

  • 高精度低成本位置控制;

  • 實時校準(zhǔn); 

  • 精密金剛石車削實驗室; 

  • 鏡頭自動對焦;

NG-A

系統(tǒng)性能

重復(fù)性

±5nm

精度(175mm×175mm)*

±200nm

精度(380mm×380mm)*

±1.0μm

*(溫度變化±0.25℃)

最大速度

700mm/s

編碼器到探頭間距

12.0±0.1mm

測量區(qū)域
(其它區(qū)域可選)

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作溫度

+10°C~+40°C

存儲溫度

–20°C~+50°C

NG探頭

尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外殼材料

6061-T6鋁

光源(785nm)

Class IIIb,3mw,激光二極管

重量(不包括線纜)

110g

接口線纜

3m,15針接頭

雙軸高分辨率處理器

分辨率

LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm

更新頻率/軸

375KHz(并行輸出)

范圍(785nm)

~1300mm(全部32位)

數(shù)據(jù)傳輸時間

<8μs;靜態(tài)<25ns< span="">

接口

25針測試連接頭
2個60針并行連接頭
PC兼容的16位ISA總線
15針HD連接探頭

輸出格式

32位并行字

A-quad-B(可選)

邊緣頻率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz
   分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14;
   ≈0.3~9.8 nm
頻率和分辨率可選

機(jī)械性

ISA兼容16位PC板

電源(不包括A-quad-B)

+5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A;
   +12VDC ±0.5V @120 mA;
–12VDC ± 0.5V @70 mA

NG編碼器

間距(機(jī)械/光學(xué))

10 μm / 5μm

鈉鈣膨脹系數(shù)

7.0 × 10-6/°C

石英(熔石英)膨脹系數(shù)

0.7 × 10-6/°C

如果想采用其他材料,請咨詢工廠

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