系統(tǒng)性能

重復性

±5nm

精度（175mm×175mm）*

±200nm

精度（380mm×380mm）*

±1.0μm

*（溫度變化±0.25℃）

最大速度

700mm/s

編碼器到探頭間距

12.0±0.1mm

測量區(qū)域
（其它區(qū)域可選）

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作溫度

+10°C～+40°C

存儲溫度

–20°C～+50°C

NG探頭

尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外殼材料

6061-T6鋁

光源（785nm）

Class IIIb，3mw，激光二極管

重量（不包括線纜）

110g

接口線纜

3m，15針接頭

雙軸高分辨率處理器

分辨率

LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm

更新頻率/軸

375KHz（并行輸出）

范圍（785nm）

～1300mm（全部32位）

數(shù)據(jù)傳輸時間

<8μs；靜態(tài)<25ns< span="">

接口

25針測試連接頭
2個60針并行連接頭
PC兼容的16位ISA總線
15針HD連接探頭

輸出格式

32位并行字

A-quad-B（可選）

邊緣頻率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz
　　　分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14;
　　　≈0.3~9.8 nm
頻率和分辨率可選

機械性

ISA兼容16位PC板

電源（不包括A-quad-B）

+5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A;
　　　+12VDC ±0.5V @120 mA;
–12VDC ± 0.5V @70 mA

NG編碼器

間距（機械/光學）

10 μm / 5μm

鈉鈣膨脹系數(shù)

7.0 × 10^-6/°C

石英（熔石英）膨脹系數(shù)

0.7 × 10^-6/°C

如果想采用其他材料，請咨詢工廠