MP執(zhí)行器是一個(gè)低電壓的壓電轉(zhuǎn)換設(shè)備,有各種各樣的量程,以適應(yīng)各種定制應(yīng)用。開(kāi)環(huán)壓電轉(zhuǎn)換設(shè)備理論上有無(wú)限的分辨率并且只是受限于驅(qū)動(dòng)器上的電壓噪聲。它的量程可以從15-105um,甚至進(jìn)一步進(jìn)行機(jī)械放大。
每個(gè)執(zhí)行器內(nèi)部預(yù)裝以確保可以獲得一個(gè)高拉力,以及作為一個(gè)強(qiáng)大的推動(dòng)力。它們的回轉(zhuǎn)速度受限于電子元件上的驅(qū)動(dòng)電流。當(dāng)沒(méi)有使用傳感器時(shí),10%- 15%的固有滯后限制其精度。
低電壓;
尺寸緊湊;
高強(qiáng)度;
內(nèi)部預(yù)裝 - 高拉力;
VAC和UVAC選項(xiàng);
廣泛應(yīng)用的附件;
顯微鏡; 波束控制; 自定義閉環(huán)系統(tǒng)等
參數(shù) | 符號(hào) | 值 | 單位 | 備注 | ||||
靜態(tài)參數(shù) |
| |||||||
型號(hào) |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
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材料 |
| 不銹鋼 |
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長(zhǎng)度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
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直徑 |
| 10 | mm |
| ||||
線纜長(zhǎng)度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移動(dòng)范圍 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
|
最大負(fù)荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
剛度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
|
電容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
|
動(dòng)態(tài)參數(shù) |
| |||||||
工作溫度 |
| +10~+50 | ℃ |
| ||||
工作電壓 |
| -20~-120 | VDC |
| ||||
儲(chǔ)存溫度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相對(duì)濕度 |
| 5~95(無(wú)冷凝) | % |
| ||||
誤差 |
|
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| ||||
*磁滯(峰值) | δxp·hyst | ≤13 | % |
| ||||
*線性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② |
注意:
*這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測(cè)并提供的。
①、這是MP在Z軸方向最大能承受的負(fù)載。
②、滿(mǎn)量程的相對(duì)誤差。
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