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MPx

MP執(zhí)行器是一個(gè)低電壓的壓電轉(zhuǎn)換設(shè)備,有各種各樣的量程,以適應(yīng)各種定制應(yīng)用。開(kāi)環(huán)壓電轉(zhuǎn)換設(shè)備理論上有無(wú)限的分辨率并且只是受限于驅(qū)動(dòng)器上的電壓噪聲。它的量程可以從15-105um,甚至進(jìn)一步進(jìn)行機(jī)械放大。
每個(gè)執(zhí)行器內(nèi)部預(yù)裝以確保可以獲得一個(gè)高拉力,以及作為一個(gè)強(qiáng)大的推動(dòng)力。它們的回轉(zhuǎn)速度受限于電子元件上的驅(qū)動(dòng)電流。當(dāng)沒(méi)有使用傳感器時(shí),10%- 15%的固有滯后限制其精度。

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  • 低電壓; 

  • 尺寸緊湊; 

  • 高強(qiáng)度; 

  • 內(nèi)部預(yù)裝 - 高拉力; 

  • VAC和UVAC選項(xiàng);

  • 廣泛應(yīng)用的附件;

顯微鏡; 波束控制; 自定義閉環(huán)系統(tǒng)等

參數(shù)

符號(hào)

單位

備注

靜態(tài)參數(shù)

 

型號(hào)

 

15

30

45

75

105

 

 

材料

 

不銹鋼

 

 

長(zhǎng)度

 

30

50

70

110

150

mm

 

直徑

 

10

mm

 

線纜長(zhǎng)度

 

2000

mm

 

*移動(dòng)范圍

dxp·max

>15

>30

>45

>75

>105

um

 

最大負(fù)荷

 

10

Kg

剛度

 

50

25

16

10

7

N/um

 

電容量

 

1.8

3.6

5.4

9.0

12.6

uF

 

動(dòng)態(tài)參數(shù)

 

工作溫度

 

+10~+50

 

工作電壓

 

-20~-120

VDC

 

儲(chǔ)存溫度

 

0~+70

 

相對(duì)濕度

 

5~95(無(wú)冷凝)

%

 

誤差

 

 

 

 

*磁滯(峰值)

δxp·hyst

≤13

%

 

*線性度

δxp·lin

≤6

%

注意:

*這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測(cè)并提供的。

①、這是MP在Z軸方向最大能承受的負(fù)載。

②、滿(mǎn)量程的相對(duì)誤差。

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