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NM2100電子控制器

NM2100是由納米傳感器，高電壓放大器和控制電子元件結(jié)合作為一個(gè)單一通道的獨(dú)立模塊，供電電壓有±15V，130V和-30DV電源。使用該控制器可提供壓電轉(zhuǎn)換器的閉環(huán)位置控制，X-Y平臺(tái)，鏡子轉(zhuǎn)向機(jī)制等應(yīng)用。另外，它還應(yīng)用于開環(huán)控制作為壓電控制器和納米傳感器。
電子控制器允許用戶優(yōu)化NM2100閉環(huán)響應(yīng)。閉環(huán)控制比開環(huán)控制在穩(wěn)定性和線性度上面有了巨大的提高。
型號(hào)：
2100 -標(biāo)準(zhǔn)
2100-20 -擴(kuò)展輸出范圍（降低至-20V）
2101 -無(wú)納米傳感器的屏幕驅(qū)動(dòng)程序

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主要特點(diǎn) 技術(shù)規(guī)格安裝尺寸測(cè)量原理成功案例行業(yè)解決方案應(yīng)用領(lǐng)域

亞納米的分辨率；
線性度可達(dá)0.02%；
測(cè)量帶寬可調(diào)（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可調(diào)（在不必使用滿量程的情況下）；
可選擇長(zhǎng)（“L”）或短（“-S”）測(cè)量量程（2pF或10pF電容）；

磁盤驅(qū)動(dòng)器磁頭測(cè)試；

膜/晶圓夾頭對(duì)齊；

掃描探針顯微技術(shù)；

光腔調(diào)整；

干涉測(cè)量；

參數(shù)	值	單位	備注
靜態(tài)參數(shù)
尺寸	218x77x34	mm
供電電壓	±15±1@120mA	VDC
	±120~+130@30mA	VDC
	-32~-27@30mA	VDC	①
傳感器輸出	-5~+5	V	②
模擬輸入范圍	-10~+10	V
數(shù)字輸入D/A分辨率	14	Bits
納米傳感器動(dòng)態(tài)參數(shù)
比例因子	0.1~0.01	GV^-1	③
噪音水平(-S)	＜0.3	ppmHz^-1/2rms	④
噪音水平(-L)	＜0.15	ppmHz^-1/2rms	④
熱漂移	5	ppmK^-1Typ	④
預(yù)熱時(shí)間	10	分鐘
預(yù)熱漂移	80	ppm	④
聚苯乙烯擾	10	ppmV^-1	④
線性度	＜0.2	%	⑤
帶寬	50,500,5000±10%	Hz	⑥
高壓放大器的動(dòng)態(tài)參數(shù)(典型值)
輸出電壓(2100)	0~+120	V
輸出電壓(2100-20)	-20~+120	V
帶寬	5	KHz	⑦
模擬輸入增益	6	V/V	⑧
數(shù)字輸入增益	7.3	mV/bit	⑧
噪音	0.2	mVms	⑨
最大電流	50	mA

注意：

①、負(fù)電源，僅限于2100-20型號(hào)中。

②、量程可調(diào)在內(nèi)降低性能的情況下。

③、 G就是距離的意思，比例因子是通過(guò)側(cè)面面板的選擇開關(guān)來(lái)調(diào)整。

④、 PPM是指每百萬(wàn)分之一距離變化。

⑤、線性誤差取決于傳感器安裝精度0.02%的線性誤差是可以實(shí)現(xiàn)的。請(qǐng)聯(lián)系真尚有公司洽談詳情。

⑥、帶寬是通過(guò)側(cè)面面板的選擇開關(guān)來(lái)調(diào)整。

⑦、典型的，取決于執(zhí)行機(jī)構(gòu)。

⑧、只限于開環(huán)控制。

⑨、一般情況。

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