數(shù)字壓電轉(zhuǎn)換器(DP)是一個(gè)壓電轉(zhuǎn)換設(shè)備,具有很高的線性度和非常完美的重復(fù)性,量程最大70μm,最小15um,延遲小于1nm。
普通壓電轉(zhuǎn)換器是非線性的,而且表現(xiàn)出滯后和不穩(wěn)定的現(xiàn)象。為了克服這些不足之處,每個(gè)DP轉(zhuǎn)換器都會(huì)內(nèi)置一個(gè)位置傳感器。這種傳感器的輸出控制電壓消除滯后、非線性和輸出不穩(wěn)定的情況。每個(gè)DP轉(zhuǎn)換器都會(huì)提供一個(gè)校準(zhǔn)曲線,它可以作為一個(gè)基礎(chǔ),用于修正非常微小的非線性誤差。
位置檢測電路和壓電驅(qū)動(dòng)放大器已經(jīng)微型化封裝在獨(dú)立的DP控制器,只需要給它提供±15V的電壓就可以工作。這使得DP轉(zhuǎn)換器非常適合于OEM應(yīng)用。DP控制器跟模擬輸入,14位并行數(shù)字接口,狀態(tài)行和準(zhǔn)備信號就可以組成一個(gè)完善系統(tǒng)。
DP轉(zhuǎn)換器要能工作,最少需要一個(gè)DP控制器。對于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用,如果要使用三個(gè)以上的DP控制器,可以安裝在一個(gè)AX301主機(jī)里面,AX301提供位置顯示,可選IEEE488,RS232和并行接口,并允許手動(dòng)控制DP轉(zhuǎn)換器。
外殼材料用不脹鋼和微晶玻璃;
15、35、70um的移動(dòng)距離;
分辨率高達(dá)納米級;
1ms響應(yīng)時(shí)間;
安裝方便簡潔;
特別適用于OEM應(yīng)用;
掃描顯微探針;
硬盤磁頭測試;
近場掃描光學(xué)顯微鏡;
精密工程……
參數(shù) | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | |||
靜態(tài)參數(shù) |
| 4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V |
|
| |||
型號 |
| S | M | L |
|
| |
材料 |
| 不脹鋼和微晶玻璃 |
|
| |||
長度 |
| 42.2±0.3 | 76.7±0.3 | 127.8±0.3 | mm |
| |
直徑 |
| 20±0.15 |
|
| mm |
| |
凈重(不包含電纜和接頭) |
| 70 | 110 | 170 | g |
| |
線纜長度 |
| 2040±40 |
|
| mm |
| |
*移動(dòng)范圍 | dxp·max | >15 | >35 | >70 | μm |
| |
最大負(fù)荷 |
| 5 | 5 | 5 | Kg | ① | |
動(dòng)態(tài)參數(shù) |
| ||||||
工作溫度 |
| +10~+50 |
|
| ℃ |
| |
儲存溫度 |
| 0~+70 |
|
| ℃ |
| |
相對濕度 |
| 5~95(無冷凝) | % |
| |||
工作壓力 | -VAC | 10-3~10-5 | t |
| |||
-UVAC | 10-3~10-9 | t |
| ||||
響應(yīng)時(shí)間 | txs·s | 1 | 4.3 | 25 | ms |
| |
*位置噪音(1δ) | δXp·n | 1(使用低噪聲控制器為0.5) | nm | ② | |||
誤差 |
|
|
|
| |||
*磁滯 | δxp·hyst | ≤1 | nm |
| |||
*線性度 | δxp·lin | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | % | ③ | |
重復(fù)性 |
| ≤1 | nm |
|
注意:
這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測并提供的。
DP在Z軸方向最大能承受的負(fù)載。
②、真實(shí)位置噪聲。
③、滿量程的相對誤差。
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