傳感器測量系統(tǒng)基于光譜共焦原理,由光學頭和控制器組成，之間通過一根光纜連接。
該款傳感器進行了小型化的封裝，便于集成到現(xiàn)有的系統(tǒng)中。
應用于表面難以測量的物體（技術性及困難表面），是一種非接觸式輪廓測量的通用的測量解決方案。理想情況下，傳感器適合于敏感的，軟的或液體的表面。適用于微機械工程，電氣工程，光學行業(yè)，塑料和造紙行業(yè)，半導體和PCB產(chǎn)業(yè)的檢測，工具行業(yè)等。
傳感器 | NLS11/NLS12納米級位移計 |
量程mm | 1 |
分辨率 nm | 20 |
線性度 | NLS11: ≤ 1um NLS12: ≤ 2um |
重復性nm | ≤ 15 |
測量間隙mm | NLS11: 4 NLS12: 13.5 |
光源鹵素燈W | NLS11: 670nm半導體激光二極管 NLS12: 780nm半導體激光二極管 |
光斑直徑μm | NLS11: < 2um NLS12: 2.0um |
測量垂直度o | 90±25 |
響應Hz | 16～1K |
輸出 | 數(shù)據(jù)接RS232，模擬0－10V |
重量g | NLS11: 探頭約250，控制器約4000 NLS12: 探頭約2000，控制器約4000 |
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