ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統。 兩個傳感器板，一個目標和一個探頭，形成一個平行板電容器。 可以使用適當的電子控制器測量這兩個板的間距。 可以實現最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標準產品提供 20um 至 1250um 的測量范圍，頻率響應高達 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅動 ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過測量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當傳感器間隙從標稱間隙的 50% 變化到 150% 時，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現有系統的理想選擇。
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ZNX超精密電容位移傳感器特點：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性最高0.02%；
(2)、對位置的尺度變化非常敏感，精確測量到皮米級位移變化；
(3)、可調諧以滿足應用要求；
(4)、高精度，線性度最高可至0.02%FS；
(5)、高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應用并適應各種環境挑戰，可用于真空，極端低溫，強輻射。
ZNX超精密電容位移傳感器應用領域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
ZNX超精密電容位移傳感器技術規格：
傳感器型號 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲溫度 | 0～+70℃ | ||
相對濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號 | CC-A-4101 | ||
傳感器通道最大個數 | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規格變化而不另行通知的權利。
ZNX超精密電容位移傳感器測量原理：
ZNX超精密電容位移傳感器安裝尺寸：
內徑測量儀精密輪廓檢測系統微觀型面測量系統靜態形變測量系統精密在線測厚系統振動測量系統無人警衛船光伏清潔機器人智能垃圾壓實機智能機器人自穩定無人機起落平臺空氣質量檢測儀橋梁結構健康檢測系統其他檢測系統
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