ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。 兩個(gè)傳感器板，一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探頭，形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現(xiàn)最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測(cè)量范圍，頻率響應(yīng)高達(dá) 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng)）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅(qū)動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨(dú)立電子模塊。 它通過測(cè)量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當(dāng)傳感器間隙從標(biāo)稱間隙的 50% 變化到 150% 時(shí)，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設(shè)置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨(dú)立操作和高分辨率使其成為升級(jí)需要納米定位的現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。
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ZNX超精密電容位移傳感器特點(diǎn)：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性最高0.02%；
(2)、對(duì)位置的尺度變化非常敏感，精確測(cè)量到皮米級(jí)位移變化；
(3)、可調(diào)諧以滿足應(yīng)用要求；
(4)、高精度，線性度最高可至0.02%FS；
(5)、高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng)）材料選擇以最大限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應(yīng)用并適應(yīng)各種環(huán)境挑戰(zhàn)，可用于真空，極端低溫，強(qiáng)輻射。
ZNX超精密電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。
ZNX超精密電容位移傳感器技術(shù)規(guī)格：
傳感器型號(hào) | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲(chǔ)溫度 | 0～+70℃ | ||
相對(duì)濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號(hào) | CC-A-4101 | ||
傳感器通道最大個(gè)數(shù) | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數(shù)字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權(quán)利。
ZNX超精密電容位移傳感器測(cè)量原理：
ZNX超精密電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。
ZNX超精密電容位移傳感器安裝尺寸：
汽車行業(yè)智慧城市鐵路/公路行業(yè)航天航空高溫專區(qū)機(jī)械制造智能制造輪胎橡膠芯片制造鋼鐵行業(yè)手機(jī)行業(yè)真空專區(qū)礦產(chǎn)能源衛(wèi)星通訊水利港口
內(nèi)徑測(cè)量?jī)x精密輪廓檢測(cè)系統(tǒng)微觀型面測(cè)量系統(tǒng)靜態(tài)形變測(cè)量系統(tǒng)精密在線測(cè)厚系統(tǒng)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)無人警衛(wèi)船光伏清潔機(jī)器人智能垃圾壓實(shí)機(jī)智能機(jī)器人自穩(wěn)定無人機(jī)起落平臺(tái)空氣質(zhì)量檢測(cè)儀橋梁結(jié)構(gòu)健康檢測(cè)系統(tǒng)其他檢測(cè)系統(tǒng)
焊縫分析軟件3D數(shù)據(jù)處理軟件工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)電渦流軟件預(yù)測(cè)分析軟件AI軟件計(jì)算機(jī)視覺平臺(tái)數(shù)據(jù)平臺(tái)解決方案服務(wù)免代碼軟件集成平臺(tái)定制軟件
測(cè)速測(cè)長(zhǎng)_測(cè)距傳感器 | 測(cè)距儀皮米級(jí)電容位移傳感器線激光輪廓掃描儀 | 線掃激光傳感器激光位移傳感器線性位置傳感器光譜共焦傳感器Kaman傳感器系統(tǒng)干涉儀測(cè)徑儀 | 測(cè)微計(jì) | 激光幕簾千分尺傳感器納米平臺(tái)光柵傳感器地下探測(cè)儀光纖傳感器太赫茲傳感器液位測(cè)量傳感器傾角 | 加速度測(cè)量傳感器3D掃描傳感器視覺相機(jī) | 3D相機(jī)水下測(cè)量?jī)x磁耦合線性執(zhí)行器磁場(chǎng)傳感器雷達(dá)傳感器石墨烯霍爾效應(yīng)傳感器卷材位置傳感器振動(dòng)測(cè)量傳感器結(jié)構(gòu)檢測(cè)傳感器監(jiān)控電渦流傳感器水聽器校準(zhǔn)器無線光學(xué)通訊傳感器網(wǎng)關(guān)納米級(jí)電渦流傳感器其它檢測(cè)設(shè)備
0755-26528100
0755-26528011
18145802139(微信同號(hào)）
