在單晶硅的生產(chǎn)過程中,精密監(jiān)測單晶硅爐內(nèi)硅液液位是至關(guān)重要的。保持硅液液位的穩(wěn)定可以確保晶體生長過程的均勻性和質(zhì)量,同時避免材料浪費和設(shè)備損壞。當(dāng)前主要的液位測量方案包括電容傳感器、浮子式液位計以及超聲波傳感器等。其中,電容傳感器具有高精度和響應(yīng)快速的優(yōu)點,但其對環(huán)境變化較為敏感;浮子式液位計結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉,但在高溫環(huán)境下易失效;超聲波傳感器可以在各種介質(zhì)中工作,但在高溫高壓條件下性能會受到較大影響。
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內(nèi)徑測量儀精密輪廓檢測系統(tǒng)微觀型面測量系統(tǒng)靜態(tài)形變測量系統(tǒng)精密在線測厚系統(tǒng)振動測量系統(tǒng)無人警衛(wèi)船光伏清潔機器人智能垃圾壓實機智能機器人自穩(wěn)定無人機起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結(jié)構(gòu)健康檢測系統(tǒng)其他檢測系統(tǒng)
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