NS是一款用于線性測(cè)量的超精密干涉編碼器測(cè)量系統(tǒng)。它可以避免激光干涉儀經(jīng)常會(huì)遇到的湍流效應(yīng)，同時(shí)提供納米級(jí)可重復(fù)性和分辨率。NS兼容大多數(shù)現(xiàn)有的設(shè)計(jì)平臺(tái)。 NS傳感器是一款采用二極管光源的高精密電子設(shè)備。它用三相90-element的探測(cè)器通過掃描方式捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號(hào)，經(jīng)過高度準(zhǔn)確的插值方法和編碼器對(duì)反射不敏感的條件下，這三個(gè)信號(hào)提供一個(gè)非常明確的測(cè)量相位。
亞納米的分辨率；
高速；
對(duì)湍流和大氣壓力的變化不敏感；
重復(fù)性≤5nm；
兼容性好，不需要更換主要設(shè)計(jì)就可以替換現(xiàn)有的計(jì)量系統(tǒng)；
占地面積小，重量輕；
可選真空版本；
對(duì)準(zhǔn)誤差低；
完善的技術(shù)支持；可定制；
高精度低成本位置控制；
實(shí)時(shí)校準(zhǔn)；
精密金剛石車削實(shí)驗(yàn)室；
鏡頭自動(dòng)對(duì)焦；
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