XY編碼器或者叫柵格,在X和Y方向上以10um作為基礎周期,整個計量系統則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。 NG-A-PCI是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統。NG是一個XY網格編碼器系統,湍流效應是激光干涉儀經常會遇到的,該系統也可以避免與相單獨線性尺度關聯的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中,能夠保證其達到激光干涉儀的精度,并且以一個更經濟的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。
亞納米的分辨率;
重復性小于5nm;
低阿貝誤差;
對湍流效應及大氣壓強變化不敏感;
占地面積小,重量輕;
可選真空版本;
易于安裝,包括柵格安裝的應力消除;
柵格和探頭的間隙為12mm;
對準誤差低;
完善的技術支持;可定制;
高速運作。
高精度低成本的位置控制;
實時校準;
精密金剛石車削實驗室;
鏡頭自動對焦;
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