XY編碼器或者叫柵格，在X和Y方向上以10um作為基礎(chǔ)周期，整個計量系統(tǒng)則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。 NG-A-PCI是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統(tǒng)。NG是一個XY網(wǎng)格編碼器系統(tǒng)，湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會遇到的，該系統(tǒng)也可以避免與相單獨線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中，能夠保證其達到激光干涉儀的精度，并且以一個更經(jīng)濟的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。