ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。 兩個(gè)傳感器板，一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探頭，形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現(xiàn)最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測(cè)量范圍，頻率響應(yīng)高達(dá) 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng)）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驅(qū)動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨(dú)立電子模塊。 它通過測(cè)量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。 當(dāng)傳感器間隙從標(biāo)稱間隙的 50% 變化到 150% 時(shí)，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設(shè)置。

ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨(dú)立操作和高分辨率使其成為升級(jí)需要納米定位的現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。

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CWCS10納米級(jí)電容傳感器采用電容式測(cè)量原理，無需接觸被測(cè)物即可測(cè)量傳感器與被測(cè)物表面之間的距離，并且具有納米級(jí)的分辨率。

CWCS10納米級(jí)電容傳感器的最高工作溫度受連接器內(nèi)部焊接材料的熔化溫度限制，標(biāo)準(zhǔn)探頭也能在接近絕對(duì)零度的極低溫度下進(jìn)行測(cè)量。并且由于傳感器的靈敏度容差很小，因此更換探頭后無需重新校準(zhǔn)仍然可以保證 ±0.5% 的總精度。對(duì)于特殊應(yīng)用，納米級(jí)電容傳感器CWCS10的輸出電壓的靈敏度還可以調(diào)整為 0 到 10 倍。

CWCS10納米級(jí)電容傳感器測(cè)量受電介質(zhì)特性的影響。通常用于空氣中的測(cè)量，傳感器和目標(biāo)之間的區(qū)域應(yīng)該完全沒有灰塵、油或水。如有必要，這可以通過將空氣吹過傳感器和目標(biāo)之間的間隙來實(shí)現(xiàn)。

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LP-IM200皮米級(jí)干涉位移傳感器是一種功能強(qiáng)大的非接觸式位移測(cè)量系統(tǒng)。該控制器包含激光、探測(cè)電子器件，并通過多個(gè)接口提供所有數(shù)據(jù)。LP-IM200干涉儀控制器包含一個(gè)激光源和所有必要的電子器件來評(píng)估光信號(hào)。強(qiáng)大的固件模塊，方便的軟件和多功能的配件允許輕松集成LP-IM200干涉儀控制器到新的或已經(jīng)存在的測(cè)量設(shè)置。

針對(duì)不同的應(yīng)用情況，還可以提供多個(gè)不同的可選傳感器頭及配件：

（1）、一般用途的緊湊型傳感器頭，具有許多方便的功能。

（2）、具有準(zhǔn)直光束的傳感器頭，可用于遠(yuǎn)距離和反向反射目標(biāo)。?

（3）、具有聚焦光束的傳感器頭具有較高的對(duì)準(zhǔn)公差。

（4）、線聚焦光束用于圓柱形目標(biāo)的傳感器頭。

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