V-HG240三維測振系統特點：

（1）、非接觸式激光儀器，可測振動、靜態偏轉、表面輪廓

（2）、三維測量：平面外和平面內測量

（3）、高頻率：標準高達240MHz，可達更高

（4）、高分辨率偏轉測量

（5）、適用于粗糙和光滑的表面

（6）、全視場測量

（7）、振動分析和靜態分析兩種操作模式

（8）、強大且易于上手的硬件和軟件

V-HG240三維測振系統應用領域：

◇ 微機電系統和納米機電系統                

◇ 微結構

◇ 轉換器

◇ 振動模式分析

◇ 反應譜

◇ 壓力傳感器

◇ 加速度計

◇ 陀螺儀

◇ 碰撞傳感器

◇ 真空室測量

◇ 熱變形測量

◇ 老化效應分析

◇ 研究與開發

◇ 質量和生產控制

V-HG240三維測振系統技術規格：

V-HG240三維測振系統測量原理：

V-HG240三維測振系統用一束擴展的激光束照亮目標區域，同時通過一個顯微物鏡將物體成像到CMOS傳感器陣列上。對于平面外測量，一束內部對照光束被用來干涉物體反射的光束。對于平面內測量，兩束激光束被用來照亮物體。對于振動測量，系統計算機使用信號發生器運行一個激發裝置，目標物體在一個頻率范圍內被激發。振幅邊界能夠實時顯示，同時獨特的記錄算法被用來計算數值振幅和相位圖。對于靜態偏轉測量，V-HG240基于相位移動來記錄和計算被測量物體的靜態偏轉。

1. 數值記錄

數值操作模式提供了振幅、相位和靜態偏轉的三維數值測量。對于振動測量，只需從數秒到幾分鐘的時間就能展示一份全視場高清分辨率的數值記錄。對于靜態和準靜態測量，數值操作模式搜尋從時間t到時間(t+?t)范圍內的表面偏轉，?t的范圍可從幾秒到幾分鐘。這意味著當物體在記錄期間以有限的速度移動時，也能夠連續監測并測量偏轉。

2. 動態測量

V-HG240三維測振系統實時測量整個成像區域，提供可靠的全視場數據，包括振動物體的振幅和相位。無需掃描區域，并且所有表面上所有點的數據采集同時完成。平面內振動和平面外振動的標準是振幅噪聲基底低于0.1nm且高達240MHz的頻率。V-HG240三維測振系統可以針對更高的頻率進行定制。

3. 實時分析

V-HG240三維測振系統為靜態測量和動態測量提供兩種基本操作模式。在實施操作模式下，全視場測量每秒更新30-100次，偏轉圖以等偏轉輪廓的定量方式呈現。任何由激發頻率，邊界條件或施加負荷導致變化引發的偏轉改變都會立刻展示在顯示器上。

4. 靜態偏轉測量

V-HG240三維測振系統測量并展示全視場偏轉圖，偏轉分辨率大約為1-5nm，視空間分辨率的需要而定。最大靜態偏轉范圍為幾微米。

V-HG240三維測振系統應用領域：

◇ 微機電系統和納米機電系統                

◇ 微結構

◇ 轉換器

◇ 振動模式分析

◇ 反應譜

◇ 壓力傳感器

◇ 加速度計

◇ 陀螺儀

◇ 碰撞傳感器

◇ 真空室測量

◇ 熱變形測量

◇ 老化效應分析

◇ 研究與開發

◇ 質量和生產控制

V-HG240三維測振系統應用領域：

◇ 微機電系統和納米機電系統                

◇ 微結構

◇ 轉換器

◇ 振動模式分析

◇ 反應譜

◇ 壓力傳感器

◇ 加速度計

◇ 陀螺儀

◇ 碰撞傳感器

◇ 真空室測量

◇ 熱變形測量

◇ 老化效應分析

◇ 研究與開發

◇ 質量和生產控制

V-HG240三維測振系統安裝尺寸：

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